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真空泵組是一種用于排除容器或系統(tǒng)內(nèi)部氣體，從而形成真空環(huán)境的設(shè)備。它通常由一個(gè)或多個(gè)真空泵和相應(yīng)的控制系統(tǒng)組成，利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣，從而改善、產(chǎn)生和維持真空狀態(tài)。
真空泵是一種利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。
真空泵組是一種用于排除容器或系統(tǒng)內(nèi)部氣體，從而形成真空環(huán)境的設(shè)備。
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